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| 金铂双掺杂快恢复二极管特性的研究 | |
| 作者姓名： | 金德虎 潘飞蹊 伍登学 游志朴 |
| 作者单位： | 四川大学物理学系 |
| 摘 要： | 掺金 (Au)和掺铂 (Pt)技术已被广泛用于减小硅中少数载流子的寿命 .掺金器件的VF～trr特性优于掺铂器件 ,但高温反向电流远大于掺铂器件 .作者通过金铂双掺杂技术 ,得到了VF～trr特性和高温反向漏电流介于单独掺金和掺铂快恢复二极管之间的结果 ;并通过全面衡量器件各参数认为 ,金铂双掺杂技术有利于器件参数的优化 . |
| 关 键 词： | 双掺杂二极管 反恢时间 高温反向漏电流 正向压降 |
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