| 非平衡等离子体化学研究现状与进展 |
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| 引用本文： | 白希尧,张芝涛,白敏冬,韩慧.非平衡等离子体化学研究现状与进展[J].科学通报,2002,47(5):321-322. |
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| 作者姓名： | 白希尧 张芝涛 白敏冬 韩慧 |
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| 作者单位： | 大连海事大学环境工程研究所,大连,116026. |
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| 基金项目： | 本工作为国家自然科学基金重点项目（批准号:60031001），国家自然科学基金资助项目（批准号:69871002）. |
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| 摘 要： | 现在人们研究的非平衡等离子体大多是在低气压（1.33 Pa～1.33 kPa）、低质量流量条件下,由射频（13.5 MHz）、微波（2450 MHz）以及交、直流高电压激发的辉光放电产生的,作为一种直接向反应体系施加能量的方法,已在等离子体化学合成与分解、溅射制膜、气相淀积、聚合与引发聚合、材料表面改性、沉积刻蚀和低温灰化等方面应用,取得了引人瞩目的应用效果.Maezono等人1]在压力为0.08 kPa,Ar作
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| 关 键 词： | 非平衡等离子体化学 高气压 化学反应 |
| 收稿时间： | 2001-07-14 |
| 修稿时间： | 2001年7月14日 |
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