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Mo离子注入Al_2O_3的表面改性
引用本文:柴志刚,崔相旭,张宁,刘玉梅,史维东,宫泽祥.Mo离子注入Al_2O_3的表面改性[J].吉林大学学报(理学版),1995(3).
作者姓名:柴志刚  崔相旭  张宁  刘玉梅  史维东  宫泽祥
作者单位:吉林大学材料科学研究所,大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
基金项目:大连理工大学三束材料改性国家重点实验室基金
摘    要:研究Mo离子注入Al_2O_3表面机械性能的变化及产生变化的原因,结果表明,Mo离子的注入,在Al_2O_3表面产生辐射损伤,使表面残余应力、表面硬度及断裂韧性提高;注入剂量D>1×10 ̄17cm ̄-2时,随着离子注入剂量增加,表层开始非晶化,导致表面残余应力及硬度下降,而断裂韧性仍继续得到改善。

关 键 词:离子注入,表面改性,非晶化

An Invesugation of Mo Ions Implantation-induced Surface Modification in a-Al_2O_3 Ceramic
Chai Zhigang, Cui Xiangxu, Zhang Ning, Liu Yumei.An Invesugation of Mo Ions Implantation-induced Surface Modification in a-Al_2O_3 Ceramic[J].Journal of Jilin University: Sci Ed,1995(3).
Authors:Chai Zhigang  Cui Xiangxu  Zhang Ning  Liu Yumei
Abstract:The change of Mo ions implantation-induced surface mechanical property of a-Al_2O_3ceram-ic is sludied and the reasons of the change are analyzed.Mo ions implantation brings about surface ra-diation to be damaged and results in residul surface compressive stress,surface hardness,surface frac-ture-toughness increased.With ion dose increased,the surface layer turns amorphous,and the amor-phization results in a reduction of residual compressive stress and hardness,but surface fracture-toughness is still improved.
Keywords:ion- implantation  surface- modification  amorphization  
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