磁场对PET表面碳氟等离子体改性的影响(Ⅰ) |
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作者姓名: | 张亮 王玉 王建祺 胡建芳 |
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作者单位: | 北京大学物理系介观物理国家重点实验室!北京,100871(张亮),丹东师范专科学校电子工程系!丹东,118000(王玉),北京理工大学化工与材料学院国家阻燃材料研究实验室!北京,100081(王建祺),中央民族大学物理系!北京,100081(胡建芳) |
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基金项目: | 国家自然科学基金,高等学校博士点基金 |
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摘 要: | 利用变角XPS方法研究不同磁场条件下碳氟等离子体对PET表面的改性,并探讨了磁场对碳氟等离子体聚合的影响.实验结果表明,随磁场强度的增加,碳氟混合气体等离子体发生从聚合区域向刻蚀区域过渡的转折点向CF4含量低的方向移动;碳氟混合气体等离子体的不同作用区域的特征得到增强.
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关 键 词: | 碳氟等离子体 变角XPS 磁场 聚合 刻蚀 沉积速率 |
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