| 生物芯片碳微电极的C-MEMS工艺研究 |
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| 引用本文： | 于军,杨秋梅,李建军,周文利.生物芯片碳微电极的C-MEMS工艺研究[J].华中科技大学学报(自然科学版),2007,35(8):27-29. |
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| 作者姓名： | 于军 杨秋梅 李建军 周文利 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 采用C-MEMS(carbon-microeletromechanic system)新型工艺制备碳微电极,将光刻胶经光刻、热解而得到导电碳微电极图形.利用国产BP212光刻胶及进口SU-8光刻胶高温热解分别得到方块电阻为120 Ω/□的平面碳微电极和厚度约为7 μm的柱状三维电极.该工艺与金属微电极制备方法相比,具有工艺简单、成本低、可重复性强,设计灵活的优势,所制备得到的碳微电极具有良好的电学性能,满足使用要求.
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| 关 键 词： | C-MEMS工艺 碳微电极 光刻胶 热解 生物芯片 碳微电极 工艺研究 technology microelectrodes carbon 满足使用 电学性能 优势 设计灵活 可重复性 成本 方法 电极制备 金属 三维电极 厚度 平面 方块电阻 高温热解 |
| 文章编号： | 1671-4512（2007）08-0027-03 |
| 修稿时间： | 2006-07-03 |
Fabricating biochip carbon microelectrodes by C-MEMS technology |
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| Yu Jun,Yang Qiumei,Li Jianjun,Zhou Wenli.Fabricating biochip carbon microelectrodes by C-MEMS technology[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,2007,35(8):27-29. |
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| Authors: | Yu Jun Yang Qiumei Li Jianjun Zhou Wenli |
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| Institution: | Department of Electronics Science and Technology, Fluazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | C-MEMS technology carbon microelectrode photoresist pyrolyze |
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