| 表面粗糙度的激光在线测量 |
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| 引用本文： | 雒建斌,温诗铸,Patrick,P.L.Wong,王文.表面粗糙度的激光在线测量[J].清华大学学报(自然科学版),1999(2). |
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| 作者姓名： | 雒建斌 温诗铸 Patrick P.L.Wong 王文 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
2. 香港城市大学,机械制造工程系,香港九龙 |
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| 摘 要： | 为了克服现有方法在表面粗糙度测量范围和抗震动等方面的不足，分析了最近发展起来的几种动态表面粗糙度测量方法的优缺点，提出采用被测表面激光反射图的暗区比来实现运动表面粗糙度的实时测量。该方法的测量范围可达３０倍跨度，即可测量的表面粗糙度为０．０５μｍ到１．６μｍ或０．４μｍ到１２．５μｍ。分析了试样的运动速度和初试平均光强对暗区比的影响，该方法的测量结果与Ｔｅｌｙｅｒ－ｓｏｆｔ表面形貌测量仪的测量结果很吻合。
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| 关 键 词： | 表面粗糙度 散斑 暗区比 |
Real time measurement of surface roughness using laser technique |
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| LUO Jianbin,WANG Wen,Patrick,P.L.Wong,WEN Shizhu.Real time measurement of surface roughness using laser technique[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),1999(2). |
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| Authors: | LUO Jianbin WANG Wen Patrick PLWong WEN Shizhu |
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