|
|||||
|
|
| SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅱ.SnO_2薄膜的结构和气敏性能 | |
| 作者姓名： | 姚光辉 周瑞明 韩杰 陈敏恒 |
| 作者单位： | 华东化工学院联合化学反应工程研究所技术化学物理室(姚光辉，周瑞明，韩杰)，华东化工学院联合化学反应工程研究所技术化学物理室(陈敏恒) |
| 基金项目： | 自家自然科学基金,编号 2870342 |
| 摘 要： | 研究了用化学气相淀积方法制备的SnO_2薄膜的组成。晶体结构和气敏性能。发现薄膜为多晶结构,在薄膜生长过程中,(200)、(110)晶面择优生长;薄膜对H_2的气敏灵敏度随温度的升高而增加,并存在一合适的工作温度范围:100～250℃。 |
| 关 键 词： | 二氧化锡 化学气相淀积 薄膜 结构 气敏性能 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |