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| 多晶硅冷氢化过程模拟研究 | |
| 作者姓名： | 王绪根 李梦丽 徐壮 郭俊恒 高素芳 |
| 摘 要： | 随着新能源和信息工业的快速发展,多晶硅生产的重要性日益凸显,我国企业主要采用改良西门子法生产多晶硅,并将四氯化硅(SiCl4/STC)转换为三氯氢硅(SiHCl3/TCS),STC冷氢化过程是其中重要一环,但对其研究还不够,STC冷氢化在氯化亚铜催化剂作用下于400～600℃下进行,较高的反应温度需要考虑热力学平衡,因... |
| 关 键 词： | 多晶硅 冷氢化 Aspen Plus 热力学平衡 |
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