| UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔 |
| |
| 引用本文： | 马雅丽,刘文开,路学成,刘冲.UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔[J].大连理工大学学报,2015,55(5):478-483. |
| |
| 作者姓名： | 马雅丽 刘文开 路学成 刘冲 |
| |
| 基金项目： | “十一五”国家科技支撑计划资助项目(2006BAF04B13). |
| |
| 摘 要： | 设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注塑浇口、微排气通道、排气孔、聚合物熔体流道等结构的微注塑模具型腔.对SU-8厚胶的光刻工艺参数进行优化,给出厚度350μm的SU-8胶的建议工艺条件:固定边框厚度进行刮胶;梯度升温前烘,自65℃至85℃每隔5℃间歇式升温,且85℃的烘焙时间为5.5~6.0h;紫外光接触式曝光,剂量630mJ/cm2;85℃中烘15min,显影20min.针对Ni微细电铸过程中产生节瘤现象分析原因并改善工艺参数,将电流密度和pH分别控制在3A/dm2以下和3.8~4.4.最终成功获得高质量的微注塑模具型腔.
|
| 关 键 词： | UV-LIGA技术 SU-8胶 微细电铸 微注塑模具型腔 |
Machining micro-injection mold cavity by UV-LIGA process |
| |
| MA Yali,LIU Wenkai,LU Xuecheng,LIU Chong.Machining micro-injection mold cavity by UV-LIGA process[J].Journal of Dalian University of Technology,2015,55(5):478-483. |
| |
| Authors: | MA Yali LIU Wenkai LU Xuecheng LIU Chong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | UV-LIGA technology SU-8 photoresist micro-electroforming micro-injection mold cavity |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《大连理工大学学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《大连理工大学学报》下载免费的PDF全文 |
|
