掺氢非晶硅的红外谱和喇曼谱的从头计算

用从头计算方法和ＳＴＯ－３Ｇ基函数组计算了掺氢非晶硅的结构和振动谱，并对由于基函数的局限性采用小基团引起的误差进行了修正，算得的结果与实验符合很好。其结果表明：掺氢非晶硅中，氢除了饱和悬挂键外，还与Ｓｉ形成ＳｉＨ，ＳｉＨ２，Ｓｉｈ３和（ＳｉＨ２）ｎ等硅氢构型；并确定了双线频率对应于ＳｉＨ３的构型。