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| 化学溶液沉积法制备Pb0.5Ba0.5TiO3薄膜的结构及电学性能研究 | |
| 引用本文： | 陈如麒,朱贵文,刘为方. 化学溶液沉积法制备Pb0.5Ba0.5TiO3薄膜的结构及电学性能研究[J]. 中山大学学报(自然科学版), 2012, 51(6) |
| 作者姓名： | 陈如麒 朱贵文 刘为方 |
| 作者单位： | 1. 华南农业大学公共基础课实验教学中心,广东广州,510642 2. 广东药学院基础学院,广东广州,510006 3. 韩华新能源(启东)有限公司,江苏南通226200;中山大学物理科学与工程技术学院//光电材料与技术国家重点实验室,广东广州510275 |
| 基金项目： | 广东省高校优秀青年创新人才培育资助项目，华南农业大学校长科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 采用化学溶液沉积法在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备钛酸铅钡Pb0.5Ba0.5TiO3(PBT)薄膜.薄膜呈纯钙钛矿结构,无杂相生成.此外,薄膜表面光滑致密、没有微裂痕.薄膜得到的晶粒尺寸较小,约为17 nm.在700℃ lh退火的薄膜有良好的电学特性,在1 kHz频率下测量得到的介电常数、损耗因子分别约为265和5％;此外,在500 kV/cm电场驱动下,薄膜得到的剩余极化(2Pr)约为16 μC/cm2,矫顽电场(Ec)约为110 kV/cm.这些结果表明,PBT固溶体薄膜有望成为铁电器件的候选材料. |
| 关 键 词： | 钛酸铅钡 PBT 介电 铁电 化学溶液沉积法 |
Structural and Electrical Properties of Pb0.5 Ba0.5 TiO3 Thin Film Using a Chemical Solution Deposition Method |
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| CHEN Ruqi , ZHU Guiwen , LIU Wenfang. Structural and Electrical Properties of Pb0.5 Ba0.5 TiO3 Thin Film Using a Chemical Solution Deposition Method[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2012, 51(6) | |
| Authors: | CHEN Ruqi ZHU Guiwen LIU Wenfang |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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