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| MOCVD装置的微机控制 | |
| 作者姓名： | 翟其刚 徐林木 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所(翟其刚，徐林木，陈伟民)，中国科学院上海冶金研究所(俞光仪) |
| 摘 要： | 本文叙述了一个MOCVD装置的微计算机控制系统.控制系统包括微计算机接口、每一种气体质量流量控制、各种有机源的温度控制、射频加热感应器的温度控制、多通道气体开关和屏幕指示等. |
| 关 键 词： | MOCVD装置 微机 控制系统 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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