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钽舟真空蒸发制备高纯金属,合金和硅化物薄膜及其在大规模...

引用本文：	张一平,徐元森.钽舟真空蒸发制备高纯金属,合金和硅化物薄膜及其在大规模...[J].应用科学学报,1989,7(1):47-51.

作者姓名：	张一平徐元森

摘要：
关键词：	钽舟真空蒸发薄膜集成电路
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