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非晶硅光位敏探测器的开发
引用本文:杜开瑛 冯良桓. 非晶硅光位敏探测器的开发[J]. 四川大学学报(自然科学版), 1993, 30(2): 189-193
作者姓名:杜开瑛 冯良桓
作者单位:四川大学物理系(杜开瑛,杨熹,伍红跃),四川大学材料科学系(冯良桓,周心明),四川大学材料科学系(邱上源)
摘    要:以横向光伏效应为工作模式,采用全非晶硅的Pin结构,研制了一维可见光波段的光位敏探测器(PSD_s).测试结果表明,该探测器的光位敏度可达9.7mV/mm,光讯号—位移的线性探测区占有效探测总面积的65%,而最大有效光敏面积约为2cm~2.

关 键 词:非晶硅 探测器 光位敏度

DEVELOPMENT OF HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON POSITION SENSITIVE DETECTOR
Du Kaiying Yang Xi Wu Hangyue. DEVELOPMENT OF HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON POSITION SENSITIVE DETECTOR[J]. Journal of Sichuan University (Natural Science Edition), 1993, 30(2): 189-193
Authors:Du Kaiying Yang Xi Wu Hangyue
Affiliation:Du Kaiying Yang Xi Wu Hangyue(Department of Physics)Feng Lianghuan Zhou Xinming Qiu Shangyuan (Department of Materials Science)
Abstract:
Keywords:amorphous silicon   detector   photopositional sensitivity.
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