|
|||||
|
|
| 分析芯片微通道制作技术进展 | |
| 作者姓名： | 魏守水 张玉林 崔大付 |
| 作者单位： | 山东大学控制科学与工程学院，济南250061;山东大学控制科学与工程学院，济南250061;中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室，北京100080 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金重大研究计划资助项目（90307003） |
| 摘 要： | 微通道制作是微分析芯片制作中的关键技术之一。就选取材料的原则，模板复制中的模具制造技术及微通道直接加工方法做了比较，提出了微流体芯片产业化的可行性方案。 |
| 关 键 词： | 分析芯片；微细加工；μ-TAS |
| 修稿时间： | 2004-03-01 |
| 点击此处可从《中国工程科学》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《中国工程科学》下载全文 | |