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| 1兆位汉字ROM芯片研制取得新进展 | |
| 引用本文： | 卞戟.1兆位汉字ROM芯片研制取得新进展[J].清华大学学报(自然科学版),1991(5). |
| 作者姓名： | 卞戟 |
| 摘 要： | 我校微电子所承担的“七五”重点科技攻关任务“1～1.5 um成套工艺开发及相应水平大规模集成电路研制”于去年底取得了重大突破,获得了性能合格的1兆位汉字只读存储器芯片,后在中华学习机上试用,证明完全可以替代进口芯片。 但当时得到的芯片数较少,工艺不够稳定,还谈不上有一定的合格率。针对这些问题,微电子所进行了全面的质量分析和工艺研究,明确需要攻克三大问题:①P型管穿通,②铝条刻蚀不稳定,③图形完整性。今年5月17日起集中对单项工艺进行研究,弄清问题,调整工艺,加强检测。并于7月1日开始正式流水。全所同志在各方面的配合和支持… |
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