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| 稀土Yb^＋注入硅单晶所产生非晶层的快速热退火固相外延… | |
| 引用本文： | 李岱青,宫宝安.稀土Yb^＋注入硅单晶所产生非晶层的快速热退火固相外延…[J].青岛大学学报(自然科学版),1994,7(3):71-76. |
| 作者姓名： | 李岱青 宫宝安 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 退火 离子注入 硅 单晶 掺杂 镱 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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