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| 硅烷热分解汽相淀积多晶硅 | |
| 引用本文： | 林应新.硅烷热分解汽相淀积多晶硅[J].华中科技大学学报(自然科学版),1980(2). |
| 作者姓名： | 林应新 |
| 摘 要： | 本文讨论了电荷耦合器件(CCD)的多晶薄膜的淀积,研究了多晶硅薄膜的掺杂,报导了以三氯化磷为淀积多晶硅薄膜的掺杂剂实验结果。文中还分析了多晶硅对CCD器件性能的影响。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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