|
|||||
|
|
| 钽阴极在热阴极辉光放电中行为与防护 | |
| 引用本文： | 白亦真,吕宪义,金曾孙,姜志刚.钽阴极在热阴极辉光放电中行为与防护[J].大连理工大学学报,2006,46(2):157-159. |
| 作者姓名： | 白亦真 吕宪义 金曾孙 姜志刚 |
| 作者单位： | 1. 大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024;大连理工大学,物理系,辽宁,大连,116024 2. 大连理工大学,物理系,辽宁,大连,116024 3. 吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130023 |
| 基金项目： | “八六三”计划新材料领域资助项目. |
| 摘 要： | 为快速沉积高品质金刚石膜，建立了热阴极等离子体化学气相沉积方法．相对于常规冷阴极辉光放电而言，热阴极辉光放电是一种新型放电形式，具有许多新的特性，其中重要一方面是阴极工作在较高的温度（700～1200℃）．研究了钽阴极在此温度条件下，在PCVD气氛中的反应情况．结果表明，钽与气氛中的碳反应形成了有益于放电和阴极防护的碳化钽表面，而气氛中氧的存在会影响阴极的正常工作，甚至造成阴极损坏．为有效保护阴极，需严格控制真空系统的本底真空度和漏气率． |
| 关 键 词： | 钽 热阴极 辉光放电 |
| 文章编号： | 1000-8608（2006）02-0157-03 |
| 收稿时间： | 2004-12-20 |
| 修稿时间： | 2004-12-202006-01-19 |
Behavior and protection of tantalum cathode in a hot cathode glow discharge |
|
| BAI Yi-zhen,L Xian-yi,JIN Zeng-sun,JIANG Zhi-gang.Behavior and protection of tantalum cathode in a hot cathode glow discharge[J].Journal of Dalian University of Technology,2006,46(2):157-159. | |
| Authors: | BAI Yi-zhen L Xian-yi JIN Zeng-sun JIANG Zhi-gang |
| Institution: | 1. State Key Lab. of Mater. Modif. by Laser, Ion and Electron Beams, Dalian Univ. of Technol., Dalian 116o24, China; 2. Dept. of Phys., Dalian Univ. of Technol., Dalian 116024, China; 3. State Key Lab. of Superhard Mater., Jillin Univ., Changchun 130023, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | tantalum hot cathode glow discharge |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |