| 掺杂对TiO2湿敏薄膜特性的改进 |
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| 引用本文： | 林永钟,李旦振. 掺杂对TiO2湿敏薄膜特性的改进[J]. 福建师范大学学报(自然科学版), 2004, 20(2): 49-51 |
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| 作者姓名： | 林永钟 李旦振 |
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| 作者单位： | 1. 福建师范大学物理与光电信息科技学院,福建,福州,350007
2. 福州大学光催化研究所,福建,福州,350002 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(20273014)，福建省教育厅重点项目(JA02138) |
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| 摘 要： | 采用真空镀膜技术制备TiO2与TiO2∶MgF2薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:掺杂适量MgF2的TiO2∶MgF2薄膜湿敏元件,工作频率为100Hz时,在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点.
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| 关 键 词： | 湿敏 薄膜 二氧化钛 氟化镁 |
| 文章编号： | 1000-5277(2004)02-0049-03 |
| 修稿时间： | 2004-01-07 |
Adulteration on the Improvement for the Humidity Sensor Properties of TiO2 Thin Film |
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| LIN Yong-zhong,LI Dan-zhen. Adulteration on the Improvement for the Humidity Sensor Properties of TiO2 Thin Film[J]. Journal of Fujian Teachers University(Natural Science), 2004, 20(2): 49-51 |
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| Authors: | LIN Yong-zhong LI Dan-zhen |
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| Affiliation: | LIN Yong-zhong~1,LI Dan-zhen~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | humidity sensor thin film TiO_2 MgF_2 |
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