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电源功率对SiOx薄膜包装材料阻隔性影响的研究
引用本文:张博,孙智慧,林晶,刘壮. 电源功率对SiOx薄膜包装材料阻隔性影响的研究[J]. 哈尔滨商业大学学报(自然科学版), 2009, 25(2)
作者姓名:张博  孙智慧  林晶  刘壮
作者单位:哈尔滨商业大学,轻工学院,哈尔滨,150028;哈尔滨商业大学,轻工学院,哈尔滨,150028;哈尔滨商业大学,轻工学院,哈尔滨,150028;哈尔滨商业大学,轻工学院,哈尔滨,150028
摘    要:研究了电源功率对磁控溅射制备的SiOx薄膜阻隔性的影响,获得了电源功率与薄膜阻隔性的变化曲线.实验结果表明,电源功率与SiOx薄膜的阻隔性成非线性关系,在电源功率为1 600 W时SiOx薄膜阻隔性最好,透氧率为0.01 cm3/(m2·kPa·24h),透湿率为0.003 g/(m2·kPa·24h).通过对3组不同电源功率下SiOx薄膜的红外光谱进行检测分析,得到薄膜的阻隔性与SiOx分子结构有关,x(1≤x≤2)越大阻隔性越好,x=2时,SiOx分子结构形成的薄膜阻隔性最好.

关 键 词:SiOx  磁控溅射  电源功率  透氧率  透湿率

Effects of power supply on barrier properties of SiO_x thin film
ZHANG Bo,SUN Zhi-hui,LIN Jing,LIU Zhuang. Effects of power supply on barrier properties of SiO_x thin film[J]. Journal of Harbin University of Commerce :Natural Sciences Edition, 2009, 25(2)
Authors:ZHANG Bo  SUN Zhi-hui  LIN Jing  LIU Zhuang
Affiliation:School of Light Industry;Harbin University of Commerce;Harbin 150028;China
Abstract:
Keywords:SiOx
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