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硬质薄膜力学性能测试技术的研究
作者姓名:余历军  田林海  张秀成  朱晓东  何家文
作者单位:[1]西安交通大学金属材料强度国家重点实验室 [2]西北大学化工学院 [3]陕西西安710049西北大学化工学院 [4]陕西西安
摘    要:叙述了目前常用的硬质薄膜力学性能测试方法、原理及它们的优缺点.介绍了一种新的测试技术即薄膜冲击试验,可用来分析多次冲击载荷下薄膜失效机理及膜基体系疲劳强度或冲击韧性更多的信息.

关 键 词:硬质薄膜  力学性能  测试技术  冲击试验
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