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基于Pd/SiNWs/p-Si结构的高灵敏常温氢气传感器
作者单位:;1.华东师范大学电子工程系
摘    要:采用无电镀Pd的方法,在硅纳米线上制备了一层Pd.首次制备出了能够在室温下工作的Pd/SiNWs肖特基氢气传感器.SEM(Scanning Electron Microscopy)(扫描电子显微镜)表征结果表明,硅纳米线表面Pd层是由Pd纳米颗粒组成.Pd/SiNWs肖特基二极管I-V测试结果表明,该传感器可以在室温下进行氢气(H2)浓度的检测,且可检测的浓度范围很大,同时给出了Pd/SiNWs/p-Si肖特基二极管在常温下进行检测H_2的敏感机理.实验表明,这种新型传感器可以在室温下进行H2检测,且具有很大的发展潜力,可以应用于燃料电池等诸多领域.

关 键 词:氢气检测  室温  无电镀  钯硅纳米线阵列  恒电位计时电流

High sensitive room temperature hydrogen sensor based on Pd/SiNWs/p-Si structure
Abstract:
Keywords:
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