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| VLSI干蚀刻终点检测技术简介 | |
| 作者姓名： | 姚敏 李宁 |
| 作者单位： | 1. 上海交通大学微电子学院,上海,200030;中芯国际集成电路制造有限公司,四川成都,610041 2. 上海交通大学微电子学院,上海,200030 |
| 摘 要： | 在蚀刻时会形成等鼻子体的蚀刻气体,他会蚀刻未受保护的区城.一旦检测到这一区域被刻蚀完成时,蚀刻反应马上被停止.这种停止刻蚀反应的检测手段被称为终点检测(endpoint). |
| 关 键 词： | 集成电路 干蚀刻 终点检测 |
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