| 氧气压对激光淀积BaTiO3薄膜晶体结构的影响 |
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| 引用本文： | 崔大复,张杰,陈正豪,何萌,周岳亮,吕惠宾,李林,杨国桢.氧气压对激光淀积BaTiO3薄膜晶体结构的影响[J].科学通报,1996,41(7):601-604. |
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| 作者姓名： | 崔大复 张杰 陈正豪 何萌 周岳亮 吕惠宾 李林 杨国桢 |
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| 作者单位： | 中国科学院物理研究所!北京100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，第三世界科学研究院研究基金 |
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| 摘 要： | 由于铁电薄膜的诱人应用前景,最近几年受到人们的极大关注。铁电氧化物薄膜可望用于多种微电子学和光子学器件,如:铁电存储器,电光调制器,红外探测器,光学二次谐波发生器以及超导铁电器件等。BaTiO_3薄膜是最重要的钙钛矿结构铁电薄膜之一,它具有优良的压电,铁电,热释电和非线性光学性质。所以,很多研究组都很重视BaTiO_3薄膜的生长机理和改进薄膜性能的研究。
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| 关 键 词： | 铁电薄膜 激光淀积 晶体结构 钛酸钡 氧气压 |
| 收稿时间： | 1995-04-27 |
| 修稿时间： | 1995-10-12 |
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