| 飞秒激光微爆加工铌酸锂晶体 |
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| 引用本文： | 肖诗洲,郭锐,程光华,黄文浩. 飞秒激光微爆加工铌酸锂晶体[J]. 中国科学技术大学学报, 2008, 38(5): 558-562 |
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| 作者姓名： | 肖诗洲 郭锐 程光华 黄文浩 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥,230027
2. 中国科学院西安光学机械精密机械研究所瞬态光学国家重点实验室,陕西西安,710068 |
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| 摘 要： | 利用紧聚焦飞秒激光脉冲入射到铌酸锂（LiNbO3）晶体中引起微爆，可以在晶体内部进行微爆加工．与各向同性的熔融石英不同，因为铌酸锂晶体的各向异性，微爆加工点在垂直晶轴的截面上表现出强烈的各向异性．我们利用狭缝光阑对入射飞秒高斯光束进行整形，改变了光束的能量分布，成功地减小加工点的各向异性，获得尺寸较一致的微爆单元．另外发现由于折射率失配的存在，飞秒脉冲激光聚焦深度不一样时，微爆加工点在沿晶轴方向的截面形状和尺寸都有很大的变化，对此也进行了理论和实验上的分析．
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| 关 键 词： | 铌酸锂 微爆 激光微加工 折射率失配 飞秒激光 微爆 加工点 铌酸锂晶体 induced femtosecond laser fabrication 分析 实验 理论 变化 截面形状和尺寸 方向 沿晶 聚焦深度 飞秒脉冲激光 存在 折射率失配 发现 单元 |
Study on LiNbO3 fabrication by femtosecond laser induced micro-explosion |
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| XIAO Shi-zhou,GUO Rui,CHENG Guang-hua,HUANG Wen-hao. Study on LiNbO3 fabrication by femtosecond laser induced micro-explosion[J]. Journal of University of Science and Technology of China, 2008, 38(5): 558-562 |
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| Authors: | XIAO Shi-zhou GUO Rui CHENG Guang-hua HUANG Wen-hao |
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