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摘要：	本粉尘处理器由台湾联华电子股份有限公司新近研制成功.它适用于集成电路的化学气粗沉积过程,通常被连接到一个加热器末端的排气单元.该排气单元用以接收该加热器输出的粉尘处理器接收来自外部系统的冷却水和介面活性剂.
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