| 光电集成加速度地震检波器系统的研究 |
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| 引用本文： | 童峥嵘,李超,张卫华,陈才和.光电集成加速度地震检波器系统的研究[J].南开大学学报,2007,40(6):77-81. |
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| 作者姓名： | 童峥嵘 李超 张卫华 陈才和 |
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| 作者单位： | [1]天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津300072 [2]天津理工大学电子信息与通信工程学院,天津300191 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于M-Z光波导干涉型的新型光电集成加速度地震检波器,将光波导M-Z干涉仪、十字横梁硅质量块简谐振子、光波导偏振器单集成在同一硅基底上,该系统在GSl020组合振动测量仪(美国)上进行了测试,检测系统性能良好,能满足高精度、宽频带地震勘探要求.
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| 关 键 词： | 光电集成 MOEMOS 加速度计 简谐振子 M-Z干涉仪 信号处理 光电集成 加速度 地震检波器 检测系统 研究 Accelerometer Integrated 探要 宽频带地震 精度 性能 测试 美国 振动测量仪 组合 硅基底 光波导偏振器 简谐振子 质量块 横梁 |
| 文章编号： | 0465-7942（2007）06-0077-05 |
| 收稿时间： | 2006-12-02 |
| 修稿时间： | 2006年12月2日 |
The Experiment Research on the Photo-electronic Integrated Accelerometer |
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| Tong Zhengrong,Li Chao,Zhang Weihua Chen,Caihe.The Experiment Research on the Photo-electronic Integrated Accelerometer[J].Acta Scientiarum Naturalium University Nankaiensis,2007,40(6):77-81. |
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| Authors: | Tong Zhengrong Li Chao Zhang Weihua Chen Caihe |
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| Abstract: | A kind of photo-electronic integrated accelerometer based on waveguide M-Z interference is presented. The silicon crystal is adopted as the substrate. The core of the photoelectronicintegrated acceleration is the silicon harmonic oscillator, which is supported by four silicon beams and integrated on the signal beam of the M-Z interferometer . We fixed the accelerometer onto the top of a mechanical vibrator GS1020, which was made in American. The experimental curve of seismometer frequency response is achieved. It provieds mordern geologic prospecting with a novel detection technoogy. |
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| Keywords: | photo-electronic integrated MOEMOS interferometer signal processor accelerometer harmonic oscillator waveguide M-Z |
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