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微电子领域工艺,器件,电路,CAD技术
引用本文:李惠军,陈勇.微电子领域工艺,器件,电路,CAD技术[J].山东科学,1994,7(1):10-14.
作者姓名:李惠军  陈勇
作者单位:山东工业大学,山东省电子器材厂
摘    要:本文较全面地介绍了微电子工艺模拟、半导体器件模拟、及电子电路模拟在微电子领域中的应用

关 键 词:工艺模拟  器件模拟  电路模拟

TECHNIQUE DEVICE CIRCUIT CAD TECHNOLOGY IN MICROELECTRONIC FIELD
Li Huijun.TECHNIQUE DEVICE CIRCUIT CAD TECHNOLOGY IN MICROELECTRONIC FIELD[J].Shandong Science,1994,7(1):10-14.
Authors:Li Huijun
Abstract:This paper comprise some work of author and overall recommend the application of microelectronic techique simulate,semiconductor device simulate,electron ciruit simulate in the microelectronic field.
Keywords:technique simulate  device simulate  circuit simuiat
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