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杂志ISSN号
硅PNP型晶体管的沟道漏电
作者姓名:
季秉厚
张存生
作者单位:
内蒙古大学物理系,内蒙古大学物理系
摘 要:
近几年来,硅PNP型晶体管获得越来越广泛的用途,但与NPN型晶体管相比制造工艺比较困难,主要是表面沟道漏电,造成成品率低,可靠性差。本文通过对沟道漏电的理论分析,采取相应措施,基本上消除了沟道漏电,在大批量生产中,中测管芯成品率达80%以上。
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