| 高精度自动化椭圆偏振光谱仪 |
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| 引用本文： | 朱德瑞,赖天树,李秋俊,莫党. 高精度自动化椭圆偏振光谱仪[J]. 中山大学学报(自然科学版), 1997, 36(4): 31-36 |
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| 作者姓名： | 朱德瑞 赖天树 李秋俊 莫党 |
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| 作者单位： | 中山大学物理学系 |
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| 摘 要： | 报导了４８６／８０计算机控制的自动化的转动检偏计式的光度法椭圆偏振光谱仪的设计和制造．仪器主要由光学系统、机械转动控制系统和数据采集系统组成．其频谱范围２００～９００ｎｍ，入射角可在５～８５°连续改变，灵敏度达０．１μＷ光强，有很高的精密度，折射率ｎ达０．００２量级，消光系数ｋ达０．００３量级，准确度ｎ达０．００１量级，ｋ达０．００２量级．实验检验了仪器的精密度和准确度．并讨论了其应用
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| 关 键 词： | 椭偏光谱仪，光度法，椭圆偏振光谱 |
High Precision Automatic Ellipsometer |
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| Zhu Derui Lai Tianshu Li Qiujun Mo Dang. High Precision Automatic Ellipsometer[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 1997, 36(4): 31-36 |
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| Authors: | Zhu Derui Lai Tianshu Li Qiujun Mo Dang |
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| Affiliation: | Zhu Derui Lai Tianshu Li Qiujun Mo Dang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ellipsometer photometry spectroellipsometry |
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