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| 控制上电极微结构改善高分子湿敏电容特性 | |
| 引用本文： | 章佩娴,姚杰.控制上电极微结构改善高分子湿敏电容特性[J].中山大学学报(自然科学版),1997,36(3):57-60. |
| 作者姓名： | 章佩娴 姚杰 |
| 作者单位： | 中山大学物理学系 |
| 摘 要： | 通过控制金上电极的表面结构，高分子电容式湿度传感器的湿敏特性得到了改善．找到离子溅射这种最佳工艺及金上电极的最佳厚度—１４ｎｍ．还显示了金上电极的厚度与湿度传感器的特性之间的关系 |
| 关 键 词： | 高分子电容式湿度传感器，上电极，溅射，响应时间，灵敏度 |
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