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| 氧离子注入对铝、铁薄膜结构影响的实验研究 | |
| 引用本文： | 孙树滋,李杰,廖蔚树.氧离子注入对铝、铁薄膜结构影响的实验研究[J].东北大学学报(自然科学版),1983(2). |
| 作者姓名： | 孙树滋 李杰 廖蔚树 |
| 作者单位： | 东北工学院物理系 (孙树滋，李杰)，东北工学院物理系(廖蔚树) |
| 摘 要： | 透射电子显微镜分析表明,高剂量的氧离子注入能够改变金属薄膜的结构。注入的氧离子使面心立方的多晶铝薄膜变成非晶态的三氧化二铝;使体心立方的多晶铁薄膜变成面心立方的四氧化三铁。 |
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