| 金属等离子体浸没离子注入技术合成NbN膜 |
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| 引用本文： | 宋教花,张涛,侯君达,邓志威. 金属等离子体浸没离子注入技术合成NbN膜[J]. 北京师范大学学报(自然科学版), 2000, 36(5): 623-625 |
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| 作者姓名： | 宋教花 张涛 侯君达 邓志威 |
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| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所,100875,北京 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);; |
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| 摘 要： | 利用无大颗粒的金属等离子体浸没增强沉积技术 ,在Si基体上进行动态离子束增强沉积NbN ,在低温下制成了NbN薄膜 .薄膜表面细密光滑 ,退火前其硬度 >16 .8MN·mm- 2 ,退火后硬度 >16 .0MN·mm- 2 .
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| 关 键 词： | 氮化铌 金属等离子体 动态离子束增强沉积 |
| 修稿时间： | 2000-01-13 |
SYNTHESIS OF NbN THIN FILM USING METAL PLASMA ION IMMERSION IMPLANTATION AND DEPOSITION |
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| Song Jiaohua Zhang Tao Hou Junda Deng Zhiwei. SYNTHESIS OF NbN THIN FILM USING METAL PLASMA ION IMMERSION IMPLANTATION AND DEPOSITION[J]. Journal of Beijing Normal University(Natural Science), 2000, 36(5): 623-625 |
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| Authors: | Song Jiaohua Zhang Tao Hou Junda Deng Zhiwei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | NbN metal plasma dynamic ion beam assisted deposition |
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