| 基于溶胶凝胶法ITO薄膜材料的制备与表征 |
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| 引用本文： | 宣鑫科,陶佰睿,张健.基于溶胶凝胶法ITO薄膜材料的制备与表征[J].齐齐哈尔大学学报(自然科学版),2010,26(3):45-47. |
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| 作者姓名： | 宣鑫科 陶佰睿 张健 |
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| 作者单位： | 华东师范大学,信息学院,上海,200062 |
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| 摘 要： | 基于溶胶凝胶法制备了掺铟二氧化锡(ITO)薄膜,探讨聚乙二醇(PEG)、退火温度、退火过程氧气浓度等因素对ITO薄膜性能的影响。实验结果表明:在相同实验条件下,添加PEG能够降低ITO薄膜表面粗糙度,退火温度会改变ITO薄膜的结晶度,提高含锡量和氧浓度会增加ITO薄膜的电阻率。本研究为ITO埋栅结构气敏传感器制备提供了实验基础。
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| 关 键 词： | 溶胶凝胶 二氧化锡薄膜 聚乙二醇 氧浓度 薄膜电阻率 |
Preparation and superficial characteristics of ITO films by sol-gel |
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| XUAN Xin-ke,TAO Bai-rui,ZHANG Jian.Preparation and superficial characteristics of ITO films by sol-gel[J].Journal of Qiqihar University(Natural Science Edition),2010,26(3):45-47. |
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| Authors: | XUAN Xin-ke TAO Bai-rui ZHANG Jian |
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