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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
Cu 在 FeCl_3 溶液中的蚀刻研究
作者姓名:
蔡坚
马莒生
曹育文
唐祥云
作者单位:
清华大学材料科学与工程系
摘 要:
研究了FeCl3溶液浓度、温度及样品在溶液中的运动速度对Cu蚀刻速度的影响。在所研究的溶液浓度范围内,蚀刻过程为扩散控制为主的过程;在溶液相对密度为1.26~1.32时Cu的蚀刻速度具有极值。Cu在FeCl3溶液中蚀刻其表面有CuCl膜的沉积,钝化膜对Cu的蚀刻有大的影响;蚀刻反应受Fe3+通过钝化膜的扩散过程控制。试验拟定了初步的蚀刻工艺。
关 键 词:
铜;蚀刻;钝化膜
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