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| 竖直向上式喷雾热分解法制备ZnO薄膜及衬底温度对其性能的影响 | |
| 引用本文： | 黎波,孟祥杰,任维义.竖直向上式喷雾热分解法制备ZnO薄膜及衬底温度对其性能的影响[J].西华师范大学学报(哲学社会科学版),2014(1). |
| 作者姓名： | 黎波 孟祥杰 任维义 |
| 作者单位： | 西华师范大学理论物理研究所; |
| 基金项目： | 四川省科技厅基金资助项目(009JY0143) |
| 摘 要： | 以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,使用CQUT USP-Ⅱ型双源超声热解喷涂薄膜制备系统在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范围内的ZnO薄膜.通过X射线衍射(XRD)和紫外-可见分光光度计测试了薄膜的晶体结构和光学性能,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明:温度对薄膜质量的影响较大;制备的ZnO薄膜为六角铅锌矿结构,400℃时薄膜结晶性能好,沿c轴择优取向生长;所制备的薄膜在可见光区透过率高达86%以上,在紫外光区吸收强烈;最后,用Tauc关系计算了薄膜温度在350℃到450℃范围内的帯隙能量. |
| 关 键 词： | ZnO薄膜 超声雾化热解法(USP) 微观结构 光学性质 |
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