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反应蒸发制备的TIN薄膜特笥研究
引用本文:高玉芝,张录.反应蒸发制备的TIN薄膜特笥研究[J].北京大学学报(自然科学版),1989,25(3):261-268.
作者姓名:高玉芝  张录
摘    要:

关 键 词:反应蒸发  氮化钛  薄膜  扩散势垒
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