宏观颗粒影响薄膜性能的机理分析

基于界面能量理论，从微观的角度通过分析阴极真空电弧镀膜中、宏观颗粒（ＭＰ）到达基片后的自身发展形态与基片表面的相互影响以及与金属原子、离子之间的相互作用，提示出ＭＰ影响薄膜性能的物理机制。分析表明，ＭＰ将增大薄膜表面粗糙度，降低薄膜附着力；使薄膜密度不均匀，膜层中ＭＰ与连续薄膜之间存在明显的分界面，理论分析的结果与实验结果相吻合。