| 钛的氯化物化学气相沉积TiN热力学 |
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| 引用本文： | 胡传胜,袁泽喜. 钛的氯化物化学气相沉积TiN热力学[J]. 武汉科技大学学报(自然科学版), 1996, 0(4) |
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| 作者姓名： | 胡传胜 袁泽喜 |
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| 作者单位： | 材料工程与科学学院 |
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| 摘 要： | 应用物质自由焓函数法（函数法）及化学反应平衡常数Ｋｐ，对ＴｉＣｌ２，ＴｉＣｌ３和ＴｉＣｌ４的生成反应以及它们与Ｎ２和Ｈ２反应化学气相沉积ＴｉＮ的热力学进行了计算与分析。结果表明，用ＴｉＣｌ３与Ｎ２和Ｈ２的气相反应，能在较低温度下获得ＴｉＮ，为低温化学气相沉积ＴｉＮ提供了理论依据
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| 关 键 词： | 化学气相沉积；TiN；热力学；函数法；平衡常数K |
THE THERMODYNAMICS OF CVD TiN COATINGS WITH TITANIUM HALIDES |
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| Hu Chuansheng Yuan Zexi. THE THERMODYNAMICS OF CVD TiN COATINGS WITH TITANIUM HALIDES[J]. Journal of Wuhan University of Science and Technology(Natural Science Edition), 1996, 0(4) |
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| Authors: | Hu Chuansheng Yuan Zexi |
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| Affiliation: | Hu Chuansheng Yuan Zexi |
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