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| 浅谈ZnO薄膜的制备方法及其表征 | |
| 引用本文： | 万文琼.浅谈ZnO薄膜的制备方法及其表征[J].景德镇高专学报,2013(6):18-19. |
| 作者姓名： | 万文琼 |
| 作者单位： | 景德镇陶瓷学院科技艺术学院,江西景德镇333000 |
| 摘 要： | 本文介绍了ZnO薄膜的几种主要的制备方法，有脉冲激光沉积法、溶胶一凝胶法和磁控溅射法，再对所制薄膜的表征方法进行介绍，有X射线衍射分析、SEM分析、薄膜光学性质分析、鹧探针法、原子力显微镜。 |
| 关 键 词： | ZnO薄膜 制备方法 表征方法 |
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