| 带有温度检测的声表面波气体传感器 |
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| 引用本文： | 田爽,郝淑娟,赵军发,赵启大.带有温度检测的声表面波气体传感器[J].南开大学学报,2011,44(2). |
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| 作者姓名： | 田爽 郝淑娟 赵军发 赵启大 |
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| 作者单位： | 南开大学,现代光学研究所,天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，天津市科技发展计划，天津市科技支撑计划重点项目 |
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| 摘 要： | 设计并分析了一种新型多参量声表面波传感器.相比于传统的气体传感器,设计通过两组声路可以对气体与温度同时进行检测并直接显示被测数据.设计解决了不同温度下器件对气体敏感度不同而导致的测不准问题.实验中分别使用了中心频率为99.85 MHz和174.5 MHz的声表面波器件对气体和温度进行了检测.对理论及实验结果进行了讨论分析,实验数据与理论推导结果相吻合.
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| 关 键 词： | 声表面波(SAW) 气体传感器 温度传感器 |
The Surface Acoustic Wave Gas Sensor with Temperature Detection |
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| Tian Shuang,Hao Shujuan,Zhao Junfa,Zhao Qida.The Surface Acoustic Wave Gas Sensor with Temperature Detection[J].Acta Scientiarum Naturalium University Nankaiensis,2011,44(2). |
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| Authors: | Tian Shuang Hao Shujuan Zhao Junfa Zhao Qida |
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