X射线光刻机的开发研制

X射线光刻是一种能满足大规模集成电路生产的加工技术。本文论述了X射线光刻技术的发展历史和前景，阐述X射线光刻机的光源、曝光系统、掩摸和步进驱动平台等的主要结构和研制动机，提出在X射线光刻机设计中要注意的几个主要问题。