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高频溅射a—Si：F,H薄膜光电导的实验与计算

引用本文：	李清山,马玉蓉.高频溅射a—Si：F,H薄膜光电导的实验与计算[J].中国科学技术大学学报,1989,19(3):359-364.

作者姓名：	李清山马玉蓉

摘要：
关键词：	a－Si：F H 光电导带隙薄膜
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