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| 基于计算全息的零位补偿干涉检测 | |
| 作者姓名： | 马云 时中荣 潘国柱 |
| 作者单位： | 皖西学院 电气与光电工程学院,安徽 六安237012 |
| 基金项目： | 皖西学院校级自然科学研究青年项目;皖西学院自然科学研究重点项目;安徽省高校优秀青年人才支持计划重点项目 |
| 摘 要： | 光学面形的检测精度直接影响成像系统的性能,对基于计算全息的补偿干涉检测技术进行了研究,针对共轴计算全息的衍射波面在成像中心区域发生重叠,形成测试盲区这一问题,采用离轴计算设计方案对非球面的面形进行测量,检测方案采用分光路干涉结构,用离轴计算全息和会聚透镜组构成联合补偿器对波面进行零位补偿并分离衍射级次,完成非球面面形的干涉检测.结果表明,该方案能够消除测试盲区,同时测得全口径面形数据,并保持了良好的精度. |
| 关 键 词： | 计算全息 零位检测 光学面形 干涉 非球面 |
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