| 半导体桥等离子体的光学诊断 |
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| 引用本文： | 张琳,冯红艳,朱顺官,张文超. 半导体桥等离子体的光学诊断[J]. 南京理工大学学报(自然科学版), 2011, 35(1) |
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| 作者姓名： | 张琳 冯红艳 朱顺官 张文超 |
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| 作者单位： | 南京理工大学,化工学院,江苏,南京,210094 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，南京理工大学自主科研专项计划 |
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| 摘 要： | 为了克服半导体桥(SCB)等离子体尺寸小、存在时间短的局限性问题,用发射光谱法和增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了SCB等离子体的特性.原子发射光谱表明SCB等离子体成分包括铝原子、铁原子、铜原子、铜离子、硅原子和硅离子.根据Stark展宽法,用AlⅠ 394.40nm计算等离子体的电子密度为1016cm-3.等离子体尺寸约为500～2 000 μm.在延时为1μs时刻,等离子体径向速度约为1 km/s,轴向约为0.7 km/s,在5μs时降到最小.研究结果为优化桥体设计和改善装药条件等研究提供了依据.该方法提供了一种瞬态小尺寸等离子体的诊断途径.
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| 关 键 词： | 半导体桥等离子体 等离子体成分 辐射强度 等离子体速度 |
Optical Diagnosis on Semiconductor Bridge Plasma |
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| ZHANG Lin,FENG Hong-yan,ZHU Shun-guan,ZHANG Wen-chao. Optical Diagnosis on Semiconductor Bridge Plasma[J]. Journal of Nanjing University of Science and Technology(Nature Science), 2011, 35(1) |
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| Authors: | ZHANG Lin FENG Hong-yan ZHU Shun-guan ZHANG Wen-chao |
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