| 薄膜测厚实验研究 |
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| 引用本文： | 穆锐,仲永安.薄膜测厚实验研究[J].陕西师范大学学报,1990(3). |
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| 作者姓名： | 穆锐 仲永安 |
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| 作者单位： | 陕西师大物理系，陕西师大物理系 |
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| 摘 要： | 用球坑法测量薄膜厚度的原理,文献1]已有所叙述.其膜厚的表示式可写为:d=(D_2~2-D_1~2)/8R=(x_1-x_4~2)-(x_2-x_3)~2]/8R,其中D_1,D_2分别表示小圆和大圆直径,x_1,x_2,x_3,x_4分别表示剖层圆环边缘在显微镜下的读数.运用上式测厚,需要考虑以下几个因素:首先,要设法避免始端情况,对于较薄和软膜,要使剖层清晰,存在两个困难,
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The Experiment Study of the Determination of the Thickness of the Thinner Films |
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| Mu Rui Zhong Yongan.The Experiment Study of the Determination of the Thickness of the Thinner Films[J].Journal of Shaanxi Normal University: Nat Sci Ed,1990(3). |
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| Authors: | Mu Rui Zhong Yongan |
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| Institution: | Department of Physics |
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| Keywords: | ball-cratering profiles layer back and forth groove |
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