多电荷Cr离子注入聚合物的微观结构和离子浓度分布 |
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引用本文: | 吴瑜光,张通和,沈定予.多电荷Cr离子注入聚合物的微观结构和离子浓度分布[J].北京师范大学学报(自然科学版),2000,36(6):765-768. |
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作者姓名: | 吴瑜光 张通和 沈定予 |
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作者单位: | [1]北京师范大学射线束技术和材料改性教育部重点实验室,北京师范大学低能核物理研究所,北京100875 [2]北京大学 |
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摘 要: | 采用MEVVA源引出的Cr离子对聚酯(PET)薄膜进行了离子注入,引出的Cr离子具有多种电荷态,多种能量的Cr离子同时注入,其射程分布与单能离子注入的射程分布有明显的差别,借助于TRIM计算程序,采用多次叠加法得出了合理的计算结果,计算结果表明,由于多电荷叠架注入,Cr原子浓度分布出现3导结构,用散射RBS方法分析了Cr离子在PET中的剖面分布,所测量的Cr原子浓度分布形态与计算结果相近,但是所的分布比计算结果分布范围窄,相应位置上的原子浓度低,说明溅射效应对Cr原子浓度分布和注入到基体中的注量有明显的影响,计算结果与样品横截面电子显微镜观察相符合,这种结构对PET薄膜改性有重要的影响。
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关 键 词: | 背散射分析 Cr离子注入 高分子聚合物 表面金属化 |
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