| Y升温注入Al形成Y-Al合金研究 |
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| 引用本文： | 张通和,吴瑜光,钱卫东. Y升温注入Al形成Y-Al合金研究[J]. 北京师范大学学报(自然科学版), 2001, 37(5): 615-618 |
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| 作者姓名： | 张通和 吴瑜光 钱卫东 |
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| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;59671051; |
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| 摘 要： | 利用金属蒸汽真空弧（MEVVA）源所产生的强束流离子注入铝研究了相变、增强扩散和钇铝合金的形成条件，X射线衍射分析表明注入层有Al3Y和Al2O3出现，从背散射分析可以发现，Y原子有着明显的增强扩散和外扩散效应，Y离子的深度分布已达620nm，远大于LSS理论的预计值，注入层钇铝原子比可达到17%-24%，连续铝合金层已经形成。
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| 关 键 词： | 钇离子注入 铝 深度分布 增强扩散 钇－铝合金 |
| 修稿时间： | 2001-05-20 |
A STUDY ON THE FORMATION OF Y-Al ALLOY DURING Y IMPLANTATION AT ELEVATED TEMPERATURE |
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| Zhang Tonghe Wu Yuguang Qian Weidong. A STUDY ON THE FORMATION OF Y-Al ALLOY DURING Y IMPLANTATION AT ELEVATED TEMPERATURE[J]. Journal of Beijing Normal University(Natural Science), 2001, 37(5): 615-618 |
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| Authors: | Zhang Tonghe Wu Yuguang Qian Weidong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Y ion implantation aluminum formation of Y-Al alloy depth distribu-tion enhanced diffusion |
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