| 短波长In_xGa_（1－x）As_yP_（1－y）材料的LP－MOVPE生长 |
| |
| 引用本文： | 安海岩,杨树人,秦福文,王本忠,刘式墉. 短波长In_xGa_（1－x）As_yP_（1－y）材料的LP－MOVPE生长[J]. 吉林大学学报(理学版), 1994, 0(3) |
| |
| 作者姓名： | 安海岩 杨树人 秦福文 王本忠 刘式墉 |
| |
| 作者单位： | 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子工程系 |
| |
| 摘 要： | 本文研究了用低压金属有机化学气相外延（ＬＰ－ＭＯＶＰＥ）技术，以三申基镓（ＴＭＧａ）、三甲基铟（ＴＭＩｎ）为Ⅲ族源，ＡｓＨ＿３和ＰＨ＿３为Ⅴ族源，在（１００）方向掺Ｓ的ｎ￣＋ＩｎＰ衬底上生长短波长Ｉｎ＿ｘＧａ＿（１－ｘ）Ａｓ＿ｙＰ＿（１－ｙ）材料的生长条件，并用双晶Ｘ射线衍射（ＤＣＤ）和光荧光（ＰＬ）对不同条件下生长的短波长Ｉｎ＿ｘＧａ＿（１－ｘ）Ａｓ＿ｙＰ＿（１－ｙ）材料进行了表征。
|
| 关 键 词： | 低压金属有机化学气相外延，短波长，In＿xGa＿（1－x）As＿yP＿（1－y） |
Shortwavelength In_xGa_(1-x)As_yP_(1-y) Material Growth by LP-MOVPE |
| |
| An Haiyan,Yang Shuren,Qin Fuwen,Wang Benzhong,Liu Sliiyong. Shortwavelength In_xGa_(1-x)As_yP_(1-y) Material Growth by LP-MOVPE[J]. Journal of Jilin University: Sci Ed, 1994, 0(3) |
| |
| Authors: | An Haiyan Yang Shuren Qin Fuwen Wang Benzhong Liu Sliiyong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | low pressure metalorganic vapour epitaxy shortwavelength In_xGa_(1-x)As_yP_(1-y) |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
